在工業生產中，向設備中通入惰性氣體，防止設備內可燃氣體或粉塵發生爆炸的技術稱為惰化工藝。該技術常用于反應釜、煤化工、冶金、電力、水泥、石油化工、制藥等行業中。惰化是本質安全化防爆技術措施之一。根據《工貿行業可燃性粉塵作業場所工藝設施防爆技術指南（試行）》規定，當被輸送的金屬粉濃度接近或達到爆炸濃度下限時，必須采用氮氣等惰性氣體作為輸送載體，且必須使用氧含量分析儀連續監控管道中的氧濃度。

惰化系統一般由惰性氣體供給裝置、氧含量分析系統、監測控制組件、供氣管道組成。其中，氧含量分析儀應能準確的測量惰化后的氧氣濃度，控制組件才能在氧濃度達到動作氧濃度時，自動或手動啟動供氣裝置進行惰化保護。

上述所提到的惰化工藝專用氧含量分析儀采用的可調諧半導體激光光譜吸收技術（TDLAS）技術，是目前氧濃度測量的方法之一，該儀表精度高、響應速度快、不受背景氣體干擾、不受粉塵干擾、非接觸式測量等特點，為實時準確反映氧濃度變化提供了科學可靠的參考數據。

綜上所述，惰化工藝防爆的實質就是通過使用氧含量分析儀對設備內部環境進行檢測，根據測量數據判斷是否通入惰性氣體，以此控制氧氣含量，降低反應熱和放熱速率，讓設備中的混合物不能形成爆炸性環境，或是增加混合物點燃難度。根據設備中的氧濃度控制程度，可分為部分惰化和完全惰化。其中，完全惰化是設備中惰性氣體的濃度比例足夠高，無論可燃物與含氧混合氣體的比例發生變化都不會形成爆炸性環境，歸根結底就是要控制設備中的氧氣濃度不高于JI限氧濃度值。