在有機硅行業中，有機硅廢氣主要來源于生產過程中有機硅單體和中間體的化學反應等，特別是在合成有機硅單體、水解工序和后續的深加工過程中會產生含有揮發性有機物（VOCs）和其他廢氣。這些廢氣包括硅烷、硅油、硅橡膠等有機化合物和其他副產品，在高溫或光照條件下易揮發，形成含有揮發性有機化合物（VOCs）的廢氣。

目前，常見的有機硅廢氣處理措施是采用吸附法結合蓄熱式熱力焚化爐（RTO）進行催化燃燒。先將廢氣通過活性炭吸附裝置去除部分VOCs，然后通過蓄熱式熱力焚化爐（RTO）將剩余的VOCs徹底分解為二氧化碳和水，實現廢氣無害化處理。在廢氣處理過程中，需要使用VOC在線監測儀實時監測即將進入蓄熱式熱力焚化爐中VOCs的濃度，在蓄熱式熱力焚化爐在運行之前，能夠清楚地掌握VOCs實時排放情況。

RTO處理前端使用VOC在線監測儀的作用：實時監測VOCs的排放濃度數據，幫助RTO系統能夠快速、有效處理VOCs，監測數據也是作為調整工藝的重要依據，通過不斷優化RTO系統，從而降低成本并提升效率；精準控制VOCs的濃度，能保障RTO系統能夠長期穩定的運行，有效降低了有機硅生產過程中對環境的影響，也保障了員工的健康和安全。