在空分行業中使用的微量氧分析儀按照測量原理和測量范圍不同，有電化學燃料電池式、氧化鋯式，河南某集團煤化工空分裝置微量氧分析儀采用的是SD-Y100M微量氧分析儀，其常見的應用：惰性氣體的保護監測、空氣分離和液化、化學反應監測、半導體生產、石化過程控制、氣體分析檢驗等。

微量氧分析儀利用氣體在原電池中發生氧化還原反應產生電流實現檢測，電化學原理類似電池，其工作電極和對電極由已薄層電解液隔開并經由一個很小的電阻聯通外電路。當氣體擴散進入傳感器后，在敏感電極表面進行氧化或還原反應，產生電流并通過外電路流經兩個電極。該電流的大小與氣體的濃度直接相關，可通過外電路的負荷電阻予以測量。

微量氧分析儀使用時的注意事項：要注意管路系統的氣密性，防止大氣中的氧滲透進來，對測量結構會造成影響；被測氣體中不能含有硫化物、磷化物、酸性氣體組分，如果上述物質存在，會影響被測電流而產生干擾；被測氣體中不能含有油類組分和固體顆粒物，避免引起隔膜阻塞和污染。

由于大型空分技術逐漸提升，對粗氬氣和氮氣中的氧氣濃度的要求越來越高，隨之對微量氧分析儀的測量精度、可靠性、智能化的要求也逐漸提高。所以，選擇合適的和正確使用維護微量氧分析儀也非常重要。